◉
챔버 운전 제어
자동 모드
760.0Torr
120 Torr
1
초기 배기
러프 펌프 기동 및 밸브 개방
2
목표 압력 도달
설정값 기준 자동 제어
3
안정화 유지
센서 편차와 누설 상태 확인
4
로그 저장
시험 결과 이력 자동 기록
▣
디지털 센서 모니터링
챔버 온도정상
24.2°C
누설률정상
0.03sccm
펌프 부하대기
0%
밸브 상태닫힘
OFF
☷
수동 I/O 제어